使用热式气体质量流量控制器/质量流量计的优点
- 来源:
- 成都松盛测控技术有限公司
- 日期:
- 2023年6月8日
随着越来越多的朋友都在使用热式气体质量流量控制器和质量流量计，很多人也对此产生了浓厚的兴趣，为了帮助朋友们更好的选择和使用此类产品，我们今天就来讨论一下质量流量控制器和质量流量计的优点有哪些。
热式气体质量流量控制器和流量计的优点很多，举几个常接触到的例子：1.对于大多数的流量测控系统和普通流量计而言，压力、环境、温度的波动以及介质的变化将导致较大的误差；而对于质量流量控制器/质量流量计，则一般可以忽略不计。2.热式气体质量流量控制器可以对于不同介质精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量比例控制等特别有用。3.质量流量控制器和质量流量计也有很宽的工作压力范围。
流量控制器和流量计可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质，如常规气体氢气、氧气氮气等，稀有气体氦气、氩气等，也包括一些腐蚀性气体氯化氢等；有很宽的流量范围，我们的产品小流量范围可达0～5 sccm，大流量范围可达1500 slm。流量精度可达满量程的±1.0%, 流量控制范围是满量程的2~100% (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到广泛应用。
热式气体质量流量控制器和流量计的优点很多，举几个常接触到的例子：1.对于大多数的流量测控系统和普通流量计而言，压力、环境、温度的波动以及介质的变化将导致较大的误差；而对于质量流量控制器/质量流量计，则一般可以忽略不计。2.热式气体质量流量控制器可以对于不同介质精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量比例控制等特别有用。3.质量流量控制器和质量流量计也有很宽的工作压力范围。
流量控制器和流量计可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质，如常规气体氢气、氧气氮气等，稀有气体氦气、氩气等，也包括一些腐蚀性气体氯化氢等；有很宽的流量范围，我们的产品小流量范围可达0～5 sccm，大流量范围可达1500 slm。流量精度可达满量程的±1.0%, 流量控制范围是满量程的2~100% (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到广泛应用。