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冈本OKAMOTO全自动晶圆背面减薄机研磨机GNX200BBackgrinding

来源:
深圳市衡鹏瑞和科技有限公司
日期:
2023年6月8日
冈本OKAMOTO全自动晶圆背面减薄机研磨机GNX200B_Back grinding



冈本OKAMOTO GNX200B全自动晶圆背面减薄机研磨机特点:
研削加工技术:日本机械学会授予冈本标准传送方式及向下研磨方法技术奖。
机械精度的调整方法:通过主轴进行调整,因为可进行原点定位,所以精度调整相当容易;可2处调节。
标准驱动方式:齿轴+定位销进行定位,长年使用也不会发生位移。
标准润滑方式:润滑油及防护罩,防止进入异物造成磨损。
设备刚性:高刚性,不会因老化造成精度变化,部件由冈本自产铸金一体化生产。


全自动晶圆背面减薄机研磨机GNX200B规格:
规格 GNX200B
大加工直径 Ф200
轴承旋转数 0~3600min-1
轴承驱动电机 2.2/4 Kw/P
轴承进给速率 1~999μm/min
主轴数 2
工作轴旋转数 1~300min-1
轴承尺寸(外径) Ф250
质量 3900mm


了解更多:http://www.hapoin.com/Wafer_Grinding/

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