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氦质谱检漏仪原理

来源:
合肥迪泰真空技术有限公司
日期:
2023年6月8日
氦质谱检漏仪原理: 氦质谱检漏仪是基于质谱法原理，以氦气作为检漏仪器。 质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。 质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡，与室内气体碰撞，氦气泄漏进入室内，电离成正离子，正离子在加速电场的作用下进入人体磁场，当洛伦兹力效应偏转时，电弧形成，加速电压的变化使不同质量的离子通过磁场和接收槽到达接收极而被探测到。

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