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质谱室

来源:
合肥迪泰真空技术有限公司
日期:
2023年6月8日
质谱室
不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异,都是由离子源、分析器和收集器三部分组成,它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中,质谱技术是氦质谱检漏仪的核心技术。