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充气柜检漏设备系统工作原理详解

检中漏、检微漏

若没有发现大漏，当真空箱和工件的真空值都达到要求（可以现场设定如真空箱20Pa，工件1000Pa绝压）时，氦质谱检漏设备，对工件内充入低压氦气（如0.01Mpa），氦质谱检漏设备，进行检中漏，如无中漏，对工件内充入设定压力的氦气，模拟工件工作环境进行检微漏。如果工件不合格系统将报警，反之系统给出提示。对于不合格产品，氦质谱检漏设备厂家，系统发出报警信号，然后对真空箱充入大气，同时向工件内充入氦气至压力为140000pa（绝压）(此过程也需保持工件内外压差不大于0.04Mpa)，然后中止检测程序，将工件从真空箱内移出，切换到吸枪检漏模式，对疑惑点如接头、焊缝等进行检测，以确定漏点。如果没有小漏，系统自动进入下一步程序。

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北京科仪创新真空技术有限公司

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