氦质谱检漏设备科仪创新真空(查看)

充气柜检漏设备系统工作原理详解

抽真空检大漏

检漏时先将工件放在工件转运平台上，人工将工件推入真空箱，然后将工件与系统连接，按下双启动按钮，氦质谱检漏设备，箱门自动关闭，剩下的工作系统自动完成。

箱门关好后，系统打开V3 和V4，关闭V1，V5，V6， V7，氦质谱检漏设备，对真空箱和工件抽真空，并同时监测工件内真空值和真空箱的真空值，并保证工件内压力比真空箱压力不超过0.04Mpa。当真空箱内压力为20Pa，工件内压力抽到1000Pa时保压150S，氦质谱检漏设备哪家好，测量开关柜和真空箱内真空值的变化，如果真空箱内真空度变化不超过设定值（如100 Pa）说明工件无大漏，氦质谱检漏设备厂家，否则说明工件有大漏，系统自动给出声光报警，人工按下确认按钮，系统结束检测，如果工件无大漏，继续抽真空检中、微漏

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真空箱式氦检漏设备

1、安全

★ 电气系统具有自我检测、连锁保护和报警功能，确保系统本身运行安全可靠和被检工件的安全。

★ 真空箱门设安全光电保护装置，确保操作者安全

★ 氦气示踪安全环保。

★ 储气罐和压缩机出口配置安全阀保证系统安全。

2、高灵敏度

★ 检漏精度高。

★ 抑零功能，消除氦本底影响。

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【真空箱氦检漏设备】技术参数

1、 真空箱尺寸：长2500mm×1500mm×1000 mm（有效长度）

充氦气压力：0.05Mpa（可调）

2、 工作节拍：＜40分钟/件

3、 箱内接口数量：大件1个工件接口。小件2个工作接口。

4、 氦气回收率：95%-98%

5、 可检漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S

(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时，应可检出)

6、 保压检测时间：（1-600S可调）

7、 工件真空≤1000Pa

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