应用于300mm硅片Notch、Edge形貌检测,厚度尺寸以及直径测量。
【边缘轮廓检测】:
1.Notch形貌---
检测项目:Vw Vr Vh θ v (AngV) P1 P2 R1 R2;
检测区域:Notch部;
产能:55秒/枚,形貌测量项目为Notch形貌或Edge形貌的1点180度)测量.【25枚(1Cassette)测量时、从第1枚晶圆装载開始第25枚晶圆回收完毕为止总计】*不含FOUP Cassette 的开关时间。
2.Edge形貌---
检测项目:X1 X2 Y1 Y2 X3 θ 1 (Ang1) θ 2 (Ang2) R1 R2 t;
检测区域:9点(3 度,45 度,90 度,135 度,180 度,225 度,270 度,315 度,357 度);
产能:55秒/枚,形貌测量项目为Notch形貌或Edge形貌的1点180度)测量.【25枚(1Cassette)测量时、从第1枚晶圆装载開始第25枚晶圆回收完毕为止总计】*不含FOUP Cassette 的开关时间。
【缺陷种类】:Notch、Edge形状缺陷。
【生产能力】:根据缺陷种类不同每片检测快只需 55S。
【菜单功能】:可编辑检测菜单,并进行参数保存与导出。
【检测范围】:Notch、Edge
【检测对象】:8~12寸 硅片