爱德华edwardsiH600真空泵维修

爱德华EDWARDS晶圆半导体iH600干式真空泵维修代理商维修
概述
Edwards 高级半导体真空泵维修代理商已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。英国爱德华晶圆半导体iH600干式真空泵维修代理商维修

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。英国爱德华晶圆半导体iH600干式真空泵维修代理商维修
技术数据

峰值速度 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
极限真空 7 x 10-4 mbar
5.3 x 10-4 Torr
0.07 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO100
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 415 kg
极限功率输入 3.4 kW
电机额定功率 6.1 kW
油容量 1.43 l


所有数字均为无气镇时的典型值。



苏州昆山太仓无锡上海张家港吴江常熟镇江英国爱德华晶圆半导体干泵iH1000、iH600干式真空泵维修代理商维修

常州扬州泰州南通南京启东海门如皋海门英国爱德华晶圆半导体干泵iH1000、iH600干式真空泵维修代理商维修

海安如东宿迁徐州合肥芜湖杭州湖州温州英国爱德华晶圆半导体干泵iH1000、iH600干式真空泵维修代理商维修

台州衢州绍兴金华宁波余姚福州厦门泉州英国爱德华晶圆半导体干泵iH1000、iH600干式真空泵维修代理商维修

深圳广州珠海广州惠州通州桂林南宁南昌英国爱德华晶圆半导体干泵iH1000、iH600干式真空泵维修代理商维修

赣州武汉成都重庆荆州太原兰州乌鲁木齐英国爱德华晶圆半导体干泵iH1000、iH600干式真空泵维修代理商维修