该真空导入器产品采用高品质的焊接波纹管,保证十万次以上的循环使用,轴向驱动力可达到150N,在保证超高真空密封的同时,通过手动调节手轮(或电机驱动),实现高精度的直线驱动,精确位置控制,安装角度自由;根据客户要求,可以制作各种驱动长度。有波纹管内置型、波纹管外置型和中空型三种结构,客户根据使用要求选用。
主要参数
适用范围: 105~5x10-7Pa
真空漏率: ≤1x10-10Pa.m3/s
适用温度: -30~300℃
驱动方式: 手动
驱动方向: 直线
安装状态: 任意方向
连接方式: CF法兰或客户指定
主要零件材料
焊接波纹管 316L
刻度圆柱 304
进给刻度盘 LV12阳极化