高分辨率工业用共聚焦显微镜

在材料生产检测领域中，共聚焦显微镜在陶瓷、金属、半导体、芯片等材料科学及生产检测领域中也具有广泛的应用。

VT6000中图仪器工业用激光共聚焦显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。它是基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像，从而进行分析的精密光学仪器，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

产品功能
(1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；
(2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；
(3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；
(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；
(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；

功能特点
1、测量模式多样
单区域、多区域、拼接、自动测量等多种测量模式可选择，适应多种现场应用环境；
2、双重防撞保护功能
Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能，双重保护；
3、分析功能丰富
3D：表面粗糙度、平整度、孔洞体积、几何曲面、纹理方向、PSD等分析；
2D：剖面粗糙度、几何轮廓测量、频率、孔洞体积、Abbott参数等分析。