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1三轴光掩膜校准平台
26-8英寸掩膜标准接口
3集成真空吸槽以定位掩膜
4轮廓低,易于集成进光学器件队列
5直接驱动无刷伺服电机
更多技术内容及应用请咨询销售工程师程健
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